《陈星陈亚鹏》第八十二章 时间紧迫，提前囤积零件 (1/6)

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&nb󠁿󠁨󠁴󠁴󠁰󠀺󠀯󠀯󠁷󠁷󠁷󠀮󠁨󠁰󠁧󠁹󠁧󠁬󠁡󠁳󠁳󠀮󠁣󠁮󠀯󠁸󠁳󠀯󠁚󠁕󠁉󠁄󠁉󠁉󠀯󠁃󠁕󠁚󠁃󠁏󠁄󠁄󠁍󠀮󠁨󠁴󠁭󠁬󠁼󠀶󠁚󠁭󠁉󠀵󠁰󠁩󠁦󠀶󠁚󠁭󠁉󠀵󠁌󠁱󠁡󠀶󠁢󠁭󠁐󠁿sp;   陈星与曲程没有急着离开魔都，而是共同前去观摩。

    他们都想看看，林天到底是不是那么全能。

    龙芯国际实验室内，已经聚集了大批抱着学习态度，前来观看的光刻工程师。

    面对数十位光刻工程师组成的围观学习人群，林天也没有半点怯场，眼神平静且专注，与前一天吊儿郎当的样子判若两人，轻车熟路地开始了光掩膜版的初步制作。

    光掩膜版的制作流程与芯片生产同理，同样要经过图形制作与转换、曝光、显影、蚀刻、脱模、清洗、缺陷检查、缺陷修补、出货清洗、贴膜十个主要步骤，但又与芯片生产不同。

    芯片生产，光刻机曝光，而光掩膜版可不能依靠光刻机曝光，而是需要用到激光/电子束直写方式对Blankmask（光掩膜版材料）进行曝光。

    当正性光刻胶被曝光后，化学结构发生变化，产生光酸，通过显影液作用，被曝光的部分光刻胶溶解，而负性光刻胶被曝光部分结构交联，生成不易溶稳定化学结构，再通过显影液作用，曝光部分得以保留。

    正所谓！

    行家一出手，便知有没有！

    林天前面步骤完全正确，没有半点外行的影子，而且过程行云流水，丝毫没有半点拖沓，像是一位经历过上万次光掩膜版制作的老手，一切都水到渠成。

    这也让高永明、唐鑫宇，以及一众围观的光刻工程师们打心底佩服，懂光刻机，懂掩膜版，这简直就是全能天才啊！

    在等待第一次流片的蚀刻空隙，龙芯国际的副首席工程师唐鑫宇搓了搓手，再也忍不住请教了：“打扰一下林工，驻波效应你有什么好办法解决吗？”

    驻波效应，在光刻过程中，会有一部分光被反射回来，这个反射的光和原来的入射光频率相同，会相互干涉，导致光阻层中光强度的分布不均，呈现出交替的亮暗区域，导致流片失败。

    如何有效削减驻波效应，一直是他们头疼的问题。

    林天移开锁定在设备上的目光，淡淡说道：“使用TARC，BARC等抗反射层材料，或者进行加热烘烤，用高温促进光敏剂的扩散，一定程度上弥补了光强分布不均的问题，在显影过程中可以得到更均匀的图案剖面。

    声音不大，却传遍实验室。

    龙芯国际的工程师没有迟疑，立马掏出记事本记录。